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柔性透明SiOC硬化層/聚酰亞胺薄膜

日期:2026-04-08 16:10
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摘要:柔性透明SiOC硬化層/聚酰亞胺薄膜

柔性透明SiOC硬化層/聚酰亞胺薄膜


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上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業,公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區,專業的光電鍍膜公司,技術背景依托中國科學院,卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工;光學透鏡、反射鏡、棱鏡,平板顯示,安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產,為全球客戶提供上等的產品和服務。

關鍵詞:透明薄膜;硬化涂層;SiOC/CPI;卷對卷濺射;耐彎折;耐刮擦;耐沖擊;蓋板;可折疊顯示器

作為下一代先進顯示技術,柔性顯示具有輕薄、可彎曲、卷曲或折疊等優良特性。特別是近些年,可折疊手機因其獨特的結構設計,更是受到人們極大關注。對于商業化的可折疊顯示器,柔性透明蓋板是關鍵組件之一,被用于替代剛性玻璃基板。由于可折疊顯示器會在較小彎曲半徑或極端曲率下工作,因此柔性透明蓋板必須具有出色的柔韌性,此外還要能耐受外部沖擊和反復刮擦等。目前,無色透明的聚酰亞胺薄膜(CPI)是可折疊顯示器優選的蓋板材料,為保護柔性顯示屏幕免受外力沖擊或彎折破壞,CPI薄膜的表面還需要再制備一層硬化涂層(HC)。

 

近期,研究人員在室溫下利用反應式卷對卷(R2R)濺射系統,在CPI薄膜(由韓國Kolon提供,厚度50μm)上制備了柔性透明的硅氧碳(SiOC)硬化涂層,開發出一種新的應用于可折疊顯示器的柔性透明蓋板材料。

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XPS分析發現,SiOC硬化涂層被均勻沉積在CPI基板上,制備的SiOC/CPI薄膜表現出良好的光學透明性。不管SiOC硬化涂層的厚度如何,SiOC/CPI薄膜在400~800nm的波長范圍內均顯示出高于87%的高透光率。當涂層厚度為100nm時,薄膜的透光率仍有87.43%的透光率。

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所制備的SiOC/CPI薄膜表現出優異的機械柔韌性,這是柔性或可折疊顯示器對蓋板的關鍵要求。當SiOC硬化涂層厚度為100300nm時,透明CPI薄膜在經歷靜態彎折、動態彎折、扭曲、滾動測試之后,均沒有出現裂紋或表面缺陷。然而,經10萬次外部折疊測試后,高應變導致300nm厚的SiOC/CPI薄膜出現了表面裂紋。

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研究人員對透明薄膜的耐刮擦刮性能進行了測試,在標準鉛筆硬度試驗(550g)和鋼絲絨刮擦試驗(250g載荷)中,SiOC/CPI透明薄膜展現出良好的耐刮擦特性。

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研究人員進一步制備了薄膜電加熱器(TFH)和氧化物半導體薄膜晶體管(TFT),通過施加外部沖擊對比測試了SiOC/CPI透明薄膜對器件的保護能力。測試結果表明,表面有SiOC硬化涂層后的CPI薄膜對TFH、TFT器件均有很好的沖擊保護。

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測試結果表明,利用室溫R2R濺射方法成功實現了CPI透明薄膜的表面硬化層制備,SiOC/CPI薄膜具有出色的透明性、柔韌性、耐刮擦性和抗沖擊性等,有望作為透明蓋板材料應用于下一代柔性或可折疊顯示器中。


研究成果發表在國際學術期刊 Micromachines 202112233),**作者和通訊作者分別是韓國成均館大學的J.H. ParkH.K. Kim。



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上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業,公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區,專業的光電鍍膜公司,技術背景依托中國科學院,卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工;光學透鏡、反射鏡、棱鏡,平板顯示,安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產,為全球客戶提供上等的產品和服務。

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