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新發現!ITO/云母柔性薄膜

日期:2026-04-10 23:10
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摘要:新發現!ITO/云母柔性薄膜

新發現!ITO/云母柔性薄膜


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上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業,公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區,專業的光電鍍膜公司,技術背景依托中國科學院,卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工;光學透鏡、反射鏡、棱鏡,平板顯示,安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產,為全球客戶提供上等的產品和服務。

隨著科技的不斷發展和人們對柔性電子技術的需求增加,柔性透明光電器件的研究擴展了傳統無機半導體光電器件的應用領域,成為信息時代電子產品的重要發展方向。超薄 ITO 薄膜具有優異的光學性能,但其電氣性能較差,這極大地限制了其在光電設備領域的進一步應用。

研究成果

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鑒于此,湘潭大學和西安電子科技大學的學者在柔性云母襯底上制備了厚度為 10 納米的大面積(4 英寸)ITO 薄膜。相關研究成果以“Large-scale, high-transparency, ultra-thin ITO membranes with robust conductivity and flexibility”為題發表在Acta Materialia 上。

圖文簡介

該薄膜具有出色的低電阻率(1.32×10-4 Ω-cm)、高載流子濃度(2.2 × 1021cm-3)、高光學透明度(>98.1%)和原子級平坦表面。通過XPS表征和**性原理計算,ITO 和云母之間的范德華界面能在超 ITO 薄膜中誘導出更高濃度的氧空位,這是其顯著增強導電性的原因。此外,ITO/云母柔性薄膜還具有出色的耐久性和可回收性,即使在2.5毫米的高彎曲半徑和數萬次彎曲循環中,其光電特性依然穩定。這項研究為柔性透明電子設備的進一步發展和應用提供了重要的實驗基礎。

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圖1:超薄柔性透明ITO/Mica 薄膜的制備和表征。(a) 通過機械剝離獲得新鮮云母,(b) 通過射頻磁控濺射制備 ITO 薄膜,(c) ITO/Mica 的示意圖,(d) AFM 表面形貌,(e) 柔性 ITO/Mica 的橫截面 TEM 圖像和 (f) HRTEM 圖像

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圖2:ITO/Mica 和ITO/YSZ 的 XPS 峰擬合光譜:(a) In 3d5/2,(b) Sn 3d5/2

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圖3:(a) ITO 和 (b) ITO/ZrO2 薄膜的側視圖,(c) ITO 和 ITO/ZrO2 薄膜的氧空位形成能,紅色和綠色實線分別表示ITO 和 ITO/ZrO2 薄膜

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圖4:發光二極管 (LED) 上柔性透明 ITO/Mica 薄膜在不同彎曲狀態下的亮度圖像:(a) flat, (b) flex-out, (c) flex-in.

本研究通過射頻磁控濺射技術在云母襯底上制備出大面積超薄ITO薄膜。研究結果顯示,范德華界面上的ITO相比晶格匹配的化學鍵界面具有更低的氧空位形成能。由于高氧空位濃度的影響,ITO薄膜展現出優異的導電性能,其方塊電阻低至149 Ω/sq,載流子濃度高達2.2 × 1021 cm-3,電阻率低至1.32×10-4 Ω-cm。在柔性彎曲條件下,ITO薄膜的方阻和透光率保持穩定。本文所報告的ITO/云母薄膜為柔性平板顯示器、柔性太陽能電池以及各種柔性光電探測器的進一步集成設計提供了理想選擇。



關于我們

上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業,公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區,專業的光電鍍膜公司,技術背景依托中國科學院,卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工;光學透鏡、反射鏡、棱鏡,平板顯示,安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產,為全球客戶提供上等的產品和服務。

    采用德國薄膜制備工藝,形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環式流程技術制備體系,能夠制備各種超高性能光學薄膜,包括紅外薄膜、增透膜,ARcoating,激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜,應用領域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫用激光器、光學科研,紅外制導、面部識別、VR/AR應用,博物館,低反射櫥窗玻璃,畫框,工業燈具照明,廣告機,點餐機,電子白板,安防監控等。
    卷柔新技術擁有自主知識產權的全自動生產線【sol-gel溶膠凝膠法鍍膜線】,這條生產線能夠生產全球先進的減反射玻璃。鍍膜版面可達到2440*3660mm,玻璃厚度從0.3mm到12mm都可以,另外針對PC,PMMA方面的增透膜也具有量產生產能力。ARcoating減反膜基本接近無色,色彩還原性好,并且可以避免了磁控濺射的缺點,鍍完增透膜后玻璃可以做熱彎處理和鋼化處理以及DIP打印處理。這個難度和具有很好的應用性,新意突出,實用性突出,濕法鍍膜在價格方面也均優于真空磁控的干法。


  卷柔減反射(AR)玻璃的特點:高透,膜層無色,膜硬度高,抗老化性強(耐候性強于玻璃),玻璃長期使用存放不發霉,且有一定的自潔效果.AR增透減反膜玻璃產品廣泛應用于**文博展示、低反射幕墻、廣告機玻璃、節能燈具蓋板玻璃、液晶顯示器保護玻璃等多行業。
    我們的愿景:卷柔讓光學更具價值!
    我們的使命:有光的地方就有卷柔新技術!
    我們的目標:以高質量的產品,優惠的價格,貼心的服務,為客戶提供優良的解決方案。
    上海卷柔科技以現代鍍膜技術為核心驅動力,通過鍍膜設備、鍍膜加工、光學鍍膜產品服務于客戶,努力為客戶創造新的利潤空間和競爭優勢,為中國的民族制造業的發展貢獻力量。


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